定位系統
定位平台及壓電定位系統
Positioning Stage & Piezo System
超音波壓電馬達
 1. 線性距離: 35mm
2. 解析度: <0.05um
3. 速度: 100mm/sec		 System : Ultrasonic Motor
1. Stroke : 35mm
2. Resolution : <0.05um
3. Velocity : 100mm/sec
壓電定位器
1. 位移範圍: 3um-72um
2. 操作電壓: 150V
3. 承載力: 100N-1100N
4. 並提供多層壓電驅動器		 Piezo Positioner
1. Posiotion Range : 3um-72um
2. Operation Voltage : 150V
3. Force : 100N-1100N
4. Offer the multilayer Pizo Actuator
nN 奈牛頓力感測器
1. FT-540 : 50nN 解析力, 量測範圍160uN
2. FT-270 : 40nN 解析力, 量測範圍 2000uN
微夾持臂:B87
3. FT-G30 : 夾持臂範圍 30um,回饋力範圍6-40nN
4. FT-G100 : 夾持範圍100um, 回饋力範圍10-50nN
5. 主要應用 : 高精密取放操作, 微奈米物件組合/分類/製造, SEM, 生醫研究等		 Micro Force Sensing Probe
1. FT-540 : Resolution can reach 50nN, for 160uN force range
2. FT-270 : Resolution 400nN for 2000uN for Micro Force Sensing Probe
3. FT-540 : Resolution can reach 50nN, for 160uN force range
4.FT-270 : Resolution 400nN for 2000uN
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