量測儀器裝置
位移，振動及長度量測
displacement, vibration & length
measurement
MLD-301A 雷射都卜勒振動計
 1. 反應頻率: 1-1.5Mhz
2. 量測速度: 2x10-6 -5m/sec
3. 量測距離: 150mm-500mm
4. 光源: 氦氖雷射633nm,2mw		 MLD-301A Laser Doppler Vibrometer
1. Response Frequency : 1-1.5Mhz
2. Measuring Speed : 2um/sec -5m/sec
3. Measuring Distance : 150mm-500mm
4. Light : HeNe laser 633nm, 2mw
MLD-221 縱橫微小振動量測
1. 微小位移: 1cm-0.1nm
2. 振動頻率: 1Hz-1.5MHz
3. 測量速度: 5um/sec-5m/sec(縱向),20um/sec-5m/sec(橫向)
4. 光源: 氦氖雷射633nm		 MLD-221 Vertical/Horizontal micro vibration measurement
1. micro vibration range : 1cm-0.1nm
2. Vibration Frequency : 1Hz -1.5MHz
3. speed range : 5um/sec-5m/sec(vertical), 20um/sec-5m/sec(Horizontal)
4. Light : HeNe laser 633nm
MLD-701 位移量測單元
1. 解析度: 10nm,
2. 最大檢測速度: 100mm/sec
3. 量測範圍: +/- 320um		 MLD-701 Displacement Measuring Unit
1. Resolution : 10nm,
2. Max. Detecting Speed : 100mm/sec
3. Measuring range : +/- 320um

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